等离子去胶机 中计量大学

等离子去胶工艺是半导体单片扫胶、扫底膜工艺、元器件封装前、芯片制造等行业的重要清洗步骤。等离子去胶不仅操作简单、去胶效率高、表面干净光洁而且无划痕、成本低、环保。
等离子去胶原理
干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除，在反应气体中加入氮气或者氢气可以提高去胶性能、加强对残留物的去除。
等离子产生的原理是:给充入足够的氧气或者氩气并且稳定的真空条件下的腔体的电极施加射频，使得气体产生活性等离子体，以此，在物理、化学双重作用下对清洗的部件如砷化镓、氮化镓等进行表面的轰击，将表面要去掉的物质变成了离子或者气体，经过了抽真空排出，而达到清洗目的。
物理等离子去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氩离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的最大化，并且结果是亲水性增大，如图1所示。
图一https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00026.png物理等离子清洗
化学等离子清洗过程:清洗物的表面主要是以化学反应的形式表现作为主要的清洗目的，主要通过氧气，即在真空反应室中通过射频或微波能量使氧气电离成等离子体，该等离子体中包含离子、原子、分子及电子与有机物...

等离子去胶机 中计量大学（上海等离子去胶机使用方法）

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1、等离子去胶机在模具制造行业的应用

等离子去胶机作为一种高科技的清洗设备，具有高效、节能、环保等优点，能够将各种材料表面上的胶水、氧化膜、油污等异物迅速去除，对材料没有损伤，且清洗过程不会改变材料性质。这种设备在多个领域中都有广泛的应用，包括集成电路制造业、光电子工业、液晶显示器行业等。在模具制造行业，等离子去胶机的应用主要体现在提高...

2、等离子去胶机在玻璃行业的应用

等离子去胶机在玻璃行业的应用具有广阔的前景和重要的价值。随着技术的不断进步和市场的不断扩大，相信等离子去胶机将在玻璃行业中发挥越来越重要的作用。等离子去胶机在玻璃行业的应用主要体现在以下几个方面，...

3、等离子去胶机在电子制造业的应用

等离子去胶机在电子制造业的应用十分广泛，主要体现在以下几个方面：高效去胶：等离子去胶机利用高频交流电源产生电弧放电，形成等离子体。在强电场下，等离子体具有极高的能量密度和反应活性，能够迅速破坏材料表面的化学键，将胶水等附着物分解成小分子或原子，实现高效去胶。这一特性使得电子制造过程中的胶水残留问题得...

4、等离子去胶机在汽车制造业行业的应用

等离子去胶机在汽车制造业中的应用广泛且重要。首先，在汽车制造过程中，大量的粘合剂和胶水被用于固定零件、密封接缝以及其他装配工艺。等离子去胶机能够高效地去除汽车外壳、车窗、橡胶密封条等部件上的旧胶水，为重新粘合或修复提供了清洁的表面，提高了汽车制造的效率和产品质量。其次，在汽车内饰件制造中，等离子去胶...

5、大气等离子清洗机的枪头如何选择

大气等离子清洗机的枪头是用于产生和喷射等离子体的关键部件。根据不同的应用需求和设备设计，枪头可以有多种类型，其中最常见的包括射流枪头和旋转枪头。在选择大气等离子清洗机的枪头时，需要根据具体的处理对象和工艺要求来确定合适的类型。同时，还需要考虑设备的功率、气体流量、喷枪口大小等参数，以确保产生的等离子...

6、什么是等离子键合工艺

等离子键合是一种特殊的键合工艺，它利用等离子体技术来实现材料的表面改性和结合。这种键合方式在半导体封装、材料制备、器件集成等领域有着广泛的应用。在等离子键合过程中，首先会将待处理的材料置于真空室中，然后通过加热或施加电场等方式产生等离子体。等离子体是由电离的原子和自由电子组成的高能量状态的气体，具有...

7、三轴稳定平台等离子清洗机有什么优点

三轴稳定平台是一种利用伺服控制系统对平台上的物体进行运动控制的机械装置。其核心功能是保持平台上的设备或载荷在空间中的稳定，无论载体如何运动，平台上的设备都能保持相对地球或其他参考系的稳定指向。这种平台通常具有三个旋转轴，分别对应俯仰、偏航和滚动，通过这三个轴的协同工作，可以实现平台在空间中的全方位稳...